Folha de metal de titânio GR5 para semicondutores
A Folha de Titânio GR5 é uma liga de titânio alfa + beta duplex com titânio, alumínio e vanádio como componentes principais.
Descrição
A chapa de titânio GR5 tem uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores devido às suas excelentes propriedades mecânicas, resistência à corrosão e usinabilidade. Essas propriedades tornam a folha retangular de titânio GR5 um dos principais materiais comumente usados em equipamentos de fabricação de semicondutores.
Tecnologia líder de produção de folhas de liga de titânio GR5 da indústria
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Propriedade |
Valor típico |
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Densidade g/cm3(lb/pol. cúbico) |
4.42 (0.159) |
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Grau de faixa de fusão ±15 graus (grau F) |
1649 (3000) |
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Calor específico J/kg. grau (BTU/lb/grau F) |
560 (0.134) |
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Resistividade Elétrica de Volume ohm.cm (ohm.in) |
170 (67) |
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Condutividade térmica W/mK (BTU/ft.h. grau F) |
7.2 (67) |
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Coeficiente médio de expansão térmica 0-100 grau / grau (0-212 grau F / grau F) |
8.6x10-6 (4.8) |
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Coeficiente médio de expansão térmica 0-300 grau / grau (0-572 grau F / grau F) |
9.2x10-6 (5.1) |
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Grau Beta Transus ±15 graus (grau F) |
999 (1830) |
Aplicações específicas da folha fina de titânio GR5 na indústria de semicondutores:
Cavidades de gravação: A folha de titânio GR5 é usada para fabricar cavidades em equipamentos de gravação a plasma. Essas cavidades estão sujeitas a altas temperaturas e ambientes altamente corrosivos, e a chapa de titânio GR5 oferece excelente resistência à corrosão e estabilidade.
Câmaras de reação: A folha de titânio GR5 é usada para criar câmaras de reação em equipamentos CVD. Essas câmaras estão sujeitas a altas temperaturas e gases químicos, e a chapa de titânio GR5 mantém bom desempenho neste ambiente.
Blindagens e componentes: As blindagens e outros componentes em equipamentos PVD também são comumente feitos de chapa de titânio GR5 para proteger o interior do equipamento contra contaminação e danos.
Produção em fábrica em grande escala de chapa industrial de titânio GR5
Por que nos escolher para a folha GR5
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